高純氫氣

氫是主要的工業(yè)原料，也是重要的工業(yè)氣體和特種氣體，在石油化工、電子工業(yè)、冶金工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細(xì)有機(jī)合成、航空航天等方面有著廣泛的應(yīng)用。

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高純氫氣

氫氣提純方法主要有低溫吸附法，低溫液化法，金屬氫化物氫凈化法;此外還有鈀膜擴(kuò)散法，中空纖維膜擴(kuò)散法和變壓吸附法等。氫是主要的工業(yè)原料，也是今后主要的二次能源之一。

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高純氮氣

在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫擴(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。

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氫氣

氫氣提純方法主要有低溫吸附法，低溫液化法，金屬氫化物氫凈化法;此外還有鈀膜擴(kuò)散法，中空纖維膜擴(kuò)散法和變壓吸附法等。氫是主要的工業(yè)原料，也是今后主要的二次能源之一。

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